⑴ 上海新陽擬募資15億元投向高端光刻膠等項目 部分核心技術已獲突破
上海新陽擬藉助資本市場攻關高端光刻膠研發。
8月15日,上海新陽(300236)披露定增預案,公司擬向特定對象發行股票募集資金不超過15億元,其中7.32億元用於集成電路製造用高端光刻膠研發、產業化項目,3.48億元用於集成電路關鍵工藝材料項目,4.20億元用於補充公司流動資金。
預案顯示,以ArF光刻膠、KrF厚膜光刻膠為代表的高端光刻膠以及工藝的主要技術和專利目前都掌握在國外的企業與研究部門,這些企業幾乎占據了國內外高端光刻膠市場全部份額,這種局面嚴重製約了我國集成電路產業的自主發展。
要攻堅高端光刻膠研發,上海新陽底氣何在?據介紹,公司自成立以來,堅持自主創新,成立前10年通過自主研發掌握了面向半導體封裝領域的第一代電子電鍍與電子清洗技術,成立後10年通過自主研發掌握了面向晶元製造領域的第二代電子電鍍與電子清洗技術,為我國晶元製造銅互連工藝填補了國產材料的空白。
「公司已將高端電子光刻技術作為公司發展的重點,研發成功後將成為公司的第三大核心技術,掌握高端光刻膠的產業化技術是公司的戰略發展需要。」 上海新陽在預案中表示。
力爭於2023年前實現產業化
據披露,上海新陽此次定增對象為不超過35名特定對象,股票發行數量不超過8719.47萬股,發行價格不低於定價基準日前20個交易日公司股票均價的80%。
具體來看本次募投項目,募資總額(15億元)中的7.32億元將用於集成電路製造用高端光刻膠研發、產業化項目(簡稱「光刻膠項目」),主要開發集成電路製造中ArF干法工藝使用的光刻膠和面向3D NAND台階刻蝕的 KrF厚膜光刻膠產品,力爭於2023年前實現上述產品的產業化,打破國外壟斷,達到國際先進技術水平。
該項目投資總額預計9.33億元,主要用於設備購置及維護、人員支出、測試化驗加工費等。若項目按計劃進度進行,預計KrF厚膜光刻膠2021年開始實現少量銷售,2022年可實現量產,預計ArF(乾式)光刻膠項目在2022年可實現少量銷售,2023年開始量產,預計當年各項產品銷售收入合計可達近2億元。經公司測算,項目預計內部收益率(所得稅後)為26.14%,投資回收期(所得稅後)為7.47年,項目凈現值為7.23億元(假設必要收益率為12%)。
上海新陽表示, 預計光刻膠項目研發及產業化成功後,公司將掌握包括光刻膠主要原料純化工藝、產品配方、生產工藝和應用工藝技術在內的、具有完整知識產權的ArF干法光刻膠和KrF厚膜光刻膠的規模化生產技術,可實現兩大類光刻膠產品及配套試劑的量產供貨,並預計將取得20個以上發明專利。
談及本次光刻膠項目的必要性,上海新陽闡述,自2003年起,半導體產業進入了ArF(193nm)光刻時代,先進製造工藝使用量最高的半導體光刻膠也是ArF光刻膠。目前,國內90-14 nm半導體製程的高端半導體晶元製造所用的ArF光刻膠100%需要進口,其中超過90%為日本製造,ArF高端光刻膠產品在國內一直是空白。光刻膠產品有著很高的技術壁壘,到目前為止,歐美及日本等國家仍對中國禁止輸入ArF光刻膠技術。
據悉,在下遊行業3D NAND的光刻技術發展中,KrF光刻技術佔主要地位,所需的厚膜光刻膠市場需求量大,感光性能要求高,光刻膠圖形側壁要求筆直,抗刻蝕能力各項異性要求高,但目前該種類的光刻膠多為日韓、歐美等國家提供,代表現階段及未來5年內處於主流地位的3D NAND製造用的厚膜光刻膠仍難覓國內光刻膠供應商蹤影,市場被日本、歐美等光刻膠企業把持。
上海新陽指出,故中國想要掌握ArF和KrF厚膜等高端光刻膠技術只有自力更生、自主創新,高端光刻膠國產化替代勢在必行。
部分核心技術已取得突破
據介紹,若該項目成功實施,對我國半導體材料行業來說打破了國外壟斷,實現了又一關鍵材料的自主化。從行業上下游來說,實現了我國集成電路產業掌握核心技術的重要一環,減小發生類似2019年下半年日本限制對韓國出口三項半導體關鍵材料的「卡脖子」事件的可能,提高了我國整個集成電路產業的安全性。
對公司而言,實施項目是佔領技術和市場高地、進一步鞏固行業地位、拓展新業績增長點的重要發展方向,具有重大戰略意義。
從項目實施的可行性來看,上海新陽自2017年以來即開始籌備研發光刻膠項目,目前已為光刻膠項目專門配備了由多名海外頂尖專家和國內優秀研發人才組成的團隊,並仍在持續引進高端人才。已經引進的專家均在全球知名光刻膠廠商供職20年以上,擁有開發 KrF 以及 ArF 干法等光刻膠及相關關鍵材料的豐富經驗,還擁有光刻膠樹脂及各種光引發劑的開發設計及應用經驗,對光刻膠及原材料的研發體系也具有良好的基礎。
除外部引進專家人才外,公司也建立了內部的人才梯隊,由公司總經理方書農博士親自擔任項目負責人等。據悉,公司前期已在光刻膠項目上投入大量資金,采購了包括光刻機在內的多套光刻膠研發和檢測高端設備。
上海新陽透露, 經過長期投入,目前部分核心技術已取得突破,ArF干法光刻膠和 KrF厚膜光刻膠均已形成實驗室成果,樣品關鍵參數指標已達到競品水平,產品已經過數千次試驗,得到令人滿意的試驗結果。目前實驗室研發階段已完成,正在進行中試及後續驗證推進。
聯合開發化學機械拋光液
本次募資的另一個投向是集成電路關鍵工藝材料項目,該項目將由公司全資子公司合肥新陽實施。通過實施本項目,公司將為晶元銅互聯超高純硫酸銅電鍍液系列、晶元刻蝕超純清洗液系列等產品合計新增年產能17000噸。
從項目經濟效益來看,集成電路關鍵工藝材料項目總投資額預計3.5億元,項目建設期兩年,完全達產後預計年均營業收入55050.20萬元,利潤總額為9970.02萬元,項目內部收益率(所得稅後)為14.70%,投資回收期(所得稅後)為8.03年。
同日,上海新陽還宣布,公司已於8月13日同上海暉研簽署戰略合作協議, 雙方擬就化學機械拋光液(CMP Slurry)的開發、生產、銷售開展合作,戰略合作期限暫定為5年。
據介紹,上海暉研具有化學機械拋光液產品研發團隊,具有化學機械拋光液產品研發、生產工藝技術及質量管控、客戶技術服務能力等專有技術。上海新陽具有化學機械拋光液產品生產基礎條件與產品銷售渠道;雙方達成產品研發、生產、銷售與服務的合作關系。
⑵ 專精特新股票有哪些
南大光電300346.楚江新材002171.上海新陽300236.中來股份300393。
1.南大光電300346:
在EPS方面,從2017年到2020年,分別為0.21元、0.19元、0.14元、0.22元。
2020年11月公司獲評國家工信部「專精特新」小巨人企業。
2.楚江新材002171:
在EPS方面,從2017年到2020年,分別為0.34元、0.39元、0.37元、0.21元。
公司兩家子公司天鳥高新和頂立科技入選工信部專精特新「小巨人」企業。
3.上海新陽300236:
在EPS方面,從2017年到2020年,分別為0.37元、0.03元、0.73元、0.94元。
公司是國家工信部第一批「專精特新」小巨人企業、上海市高新技術企業、上海市企業技術中心、上海市專利工作示範企業、上海市重合同守信用AAA級企業。
4.中來股份300393:
在EPS方面,從2017年到2020年,分別為1.44元、0.53元、0.69元、0.13元。
控股子公司泰州中來光電科技有限公司近期已通過國家工信部認定的第三批專精特新「小巨人」企業名單公示。
專精特新指天津市認定獎勵的中小企業產品,主要集中在新一代信息技術、高端裝備製造、新能源、新材料、生物醫葯等中高端產業,科技含量高、設備工藝先進、管理體系完善,市場競爭力強,專精特新在天津市中小企業創新轉型中發揮了較好的示範引領作用。
為增強自主創新能力和核心競爭力,打造一批中高端產業配套能力強、細分領域技術和市場領先、品牌知名度和影響力大、資源利用率和附加值高的產品「單項冠軍」,天津市2018年新修訂出台了《天津市中小企業「專精特新」產品認定獎勵辦法》。